Geräte zum Messen der Oberflächenrauheit
Zur Analyse und Beurteilung von Oberflächenrauheit und Form sind Messwerkzeuge unterschiedlicher Prinzipien und Bauarten erhältlich.
In diesem Abschnitt präsentieren wir die Prinzipien und Charakteristika von gängigen Kontakt-Messinstrumenten (Rauheitsmessgerät und Rasterkraftmikroskop) sowie von kontaktlosen Messinstrumenten (Weißlichtinterferometer und Laserscanning-Mikroskop).
| Methode | Kontakttyp | Kontaktloser Typ | ||
|---|---|---|---|---|
| Messgerät | Taktiles Rauheitsmesssgerät |
Rasterkraftmikroskop (AFM) |
Weißlichtinterferometer | Laserscanning- Mikroskop |
| Messauflösung | 1 nm | < 0,01 nm | < 0,1 nm | 0,1 nm |
| Höhenmessbereich | bis zu 1 mm |
< 10 μm |
< einige mm |
< 7 mm |
| Messbarer Bereich | einige mm |
1 bis 200 μm |
40 μm bis 15 mm |
15 μm bis 2,7 mm |
| Winkeleigenschaften | – | Schlecht | Akzeptabel | Gut |
| Datenauflösung | – | VGA | VGA | SXGA |
| Positionierung der Messstelle | – | Sonderzubehör | Integrierte optische Kamera | Integrierte optische Kamera |
| Beschädigung der Proben | Kontakt | Kontakt | Kontaktlos | Kontaktlos |
