Positionserkennung einer Kerbe

Bisher wurden 1D-Laser-Wegmesssensoren verwendet, um die Position von Kerben zu erfassen. Da Wafer immer dünner werden, ergibt sich bei der Erkennungen das Problem, dass der Messpunkt aufgrund der Durchbiegung des Wafers nicht immer auf die Kerbe trifft. Da die Linienlaser der Modellreihe LJ-V/LJ-X nicht mit einem einzelnen Messpunkt, sondern mit einer Linie aus mehreren Punkten arbeiten, stellen Ausrichtungsfehler aufgrund der Wölbung kein Problem dar.