Messung des Profils der Waferkante

Unkomplizierte Messung des Waferkantenprofils. Messungen können ganz einfach durch Auswahl eines der Inspektionswerkzeuge „Höhenunterschied/Breite“ oder „Winkel“ durchgeführt werden. Durch die hochauflösende Aufnahme mit 3200 Punkten/Profil können Profilmessungen durchgeführt werden, die bisher nicht möglich waren. Damit werden selbst kleinste Fehler sichtbar.