Dickenmessung von SiC-Wafern

Messen der Gesamtdicke von SiC-Wafern. Da die Messköpfe selbst keine Abwärme erzeugen, entsteht kein Wärmeverzug an der Messkopfhalterung. Zusätzlich sorgt eine spezielle Ausrichtfunktion für eine einfache Ausrichtung und Überwachung der optischen Achsen der verwendeten Messköpfe. Dies führt zu einer extrem hohen Genauigkeit.