Position von Robotergreifern

Änderungen in der Höhe oder Position eines Robotergreifers können zu einem Kollisionsrisiko mit Wafern in einem Träger führen. Daher ist eine regelmäßige Überprüfung erforderlich. Mit dem koaxialen Messprinzip verfügt die Modellreihe CL über kompakte Köpfe, die bei begrenztem Platzangebot installiert werden können, um die Greiferposition zu überprüfen, ohne die Produktion anhalten zu müssen.