Messkopf VK-X3100

VK-X3100 - Messkopf

*Bitte beachten Sie, dass das abgebildete Zubehör nur der Veranschaulichung dient und möglicherweise nicht im Lieferumfang des Produkts enthalten ist.

Datenblatt (PDF)

Technische Daten

Modell		VK-X3100
Typ		Messkopf
Gesamtvergrößerung		42× bis 28800×^*1
Sichtfeld		11 bis 7398 μm
Messprinzip		Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation, Weißlichtinterferometrie, Spektrale Interferenz
Wellenlänge des Lasers		Halbleiterlaser, 404 nm
Max. Geschwindigkeit der Lasermessung		Oberfläche: 125 Hz, Linie: 7900 Hz^*2
Maximale Ausgangsleistung		1,0 mW
Laserklasse		Klasse 2 (DIN EN60825-1)
Laser-Lichtempfangselement		16-Bit-Photomultiplier
Weiße Lichtquelle zur Beleuchtung		Weiße LED
Weißlicht-Empfangselement		Hochauflösender CMOS-Chip
Konfokaler Laser	Anzeigeauflösung in Z	0,1 nm
	Wiederholgenauigkeit (σ) in Z	10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 12 nm
	Genauigkeit in Höhenrichtung	0,2+L/100 μm oder weniger^*3
	Anzeigeauflösung in XY	0,1 nm
	Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY	10×: 200 nm, 20×: 100 nm, 50×: 40 nm
	Genauigkeit in XY	Messwert ±2 % oder weniger^*3
Fokusvariation	Anzeigeauflösung in Z	0,1 nm
	Wiederholgenauigkeit (σ) in Z	5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 20 nm
	Genauigkeit in Höhenrichtung	0,2+L/100 μm oder weniger^*3
	Anzeigeauflösung in XY	0,1 nm
	Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY	5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 50 nm
	Genauigkeit in XY	Messwert ±2 % oder weniger^*3
Weißlichtinterferometrie	Anzeigeauflösung in Z	0,01 nm
	Anzeigeauflösung in XY	0,1 nm
	Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopographie	0,08 nm^*4
	Wiederholgenauigkeit von RMS	0,008 nm^*4
Spektroskopische Messung der Schichtdicke	Wiederholgenauigkeit σ	0,1 nm^*4
	Genauigkeit	±0,6 %^*4
Optische Betrachtung	Anzahl der Pixel	5,6 Millionen
	Revolver	6-Loch-Revolver (motorisiert)
	Ringbeleuchtung	2,5×, 5×, 10×
	Optischer Zoom	1 bis 8×
XY-Objekttisch- Konfiguration	Manueller Betriebsbereich	70 mm × 70 mm
	Motorisierter Betriebsbereich	100 mm × 100 mm
Netzanschluss	Spannung	100 bis 240 V AC, 50/60 Hz
	Leistungsaufnahme	150 VA
Umgebungsbeständigkeit	Umgebungstemperatur	+ 15 bis + 28 °C
	Relative Luftfeuchtigkeit	20 bis 80 % r.F. (keine Kondensation)
Gewicht		Ca. 13 kg
^1 Bei Verwendung mit einer 23-Zoll-Vollbildanzeige. ^2 Bei maximaler Geschwindigkeit und Verwendung einer Kombination aus Messmodus/Messqualität/Objektivvergrößerung. Wenn die Linienerfassung innerhalb eines Pitchs von 0,1 μm liegt. ^3 Bei der Messung eines Standardmessobjekts (Referenzmaßstabs) mit einem 20×-Objektiv (oder höher). ^4 Typische Werte gemäß der Standardmessumgebung.

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