Konfokales 3D Laserscanning-Mikroskop

Modellreihe VK-X

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Messeinheit VK-X130K

VK-X130K - Messeinheit

*Bitte beachten Sie, dass das abgebildete Zubehör nur der Veranschaulichung dient und möglicherweise nicht im Lieferumfang des Produkts enthalten ist.

Datenblatt (PDF)

Datenblatt (PDF)

Technische Daten

Modell		VK-X130K
Gesamtvergrößerung		Bis zu 19200×^*1
Bildfeld (Mindestbereich)		16 µm bis 5400 µm
Bildrate	Lasermessgeschwindigkeit	4 bis 120 Hz, 7,900 Hz^*2
Messprinzip	Optisches System	Konfokale Lochblendenoptik
	Lichtaufnahmeelement	Photomultiplier, 16-Bit-Erfassung
	Abtastmethode (bei Standardmessungen und Bildzusammensetzung)	Automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, schnelle Laserlichtintensitätseinstellung (AAGII), Automatische Erkennung / Neuerfassung von Bereichen mit zu wenig Reflexion (Double Scan)
Höhenmessung	Z-Auflösung	5 nm
	Linearmaßstab
	Dynamikbereich (unterstützte Breite für reflektiertes Licht vom Werkstück)	16 Bit
	Wiederholgenauigkeit σ	20×: 40 nm, 50×: 20 nm, 100×: 20 nm^*3
	Speicher für Z-Achsmessung	1,4 Millionen Stufen
	Genauigkeit	0,2 + L/100 µm oder genauer^4^5
Stativ-Konfiguration	Stativ	Messkopf jederzeit abnehmbar & beliebig auf andere Stative & Portale montierbar (Unterbau nicht notwendig für Messungen)
	Maximale Höhe des Messobjekts	28 mm, 128 mm (mit optionalem Erweiterungsstativ), unbegrenzt (durch leicht abnehmbaren Messkopf)
Breitenmessung	Display-Auflösung	10 nm
	Wiederholgenauigkeit 3σ	20×: 100 nm, 50×: 50 nm, 100×: 30 nm^*3
	Genauigkeit	±2%^*3
XY-Objekttisch-Konfiguration	Manuell: Betriebsbereich	70 mm×70 mm
	Motorbetrieben: Betriebsbereich	100 mm × 100 mm^*6
Betrachtung	Bildoptionen	Hochauflösendes CCD-Farbbild Konfokales 16-Bit Laserfarbbild Konfokale Optik mit ND-Filter C-Laser DIK-Bild (Differential-Interferenz-Kontrast)
	Maximale Auflösung der Aufnahme	3072×2304
Laserlichtquelle für Messungen	Wellenlänge	Roter Halbleiter-Laser, 658 nm
	Maximale Ausgangsleistung	0,95 mW
	Laserklasse	Lasereinrichtung der Klasse 2 (DIN EN60825-1)
Gewicht	Mikroskop	Circa 25 kg (ohne Messkopf circa 8,5 kg)
	Steuerung	Circa 11 kg
^1 Bei Vollbildanzeige auf 23 Zoll Bildschirm. ^2 Bei ma x imaler Geschwindigkeit und Verwendung einer Kombination aus Messmodus/Messqualität/Objektivvergrößerung. Wenn die Zeilenabtastung innerhalb eines Messabstands von 0,1 µm liegt. ^3 Bei Messung des Referenzmaßstabs mit dem 20×-Objektiv (oder höher) bei einer Umgebungstemperatur von 20 ± 2°C. Mit Ausnahme des VK-X120K/130K mit dem 100×-Objektiv. ^4 Bei Messung des Referenzmaßstabs mit dem 20x -Objektiv (oder höher) bei einer Umgebungstemperatur von 20 ±2 °C. Mit Ausnahme des VK-X120K/130K mit dem 100x-Objektiv. ^5 L = Vertikale Messlänge in µm ^6 Mit motorbetriebenem Objekttisch.

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