Technische Daten : Konfokaler Wegmesssensor - Modellreihe CL-3000

Optische Einheiten und messköpfe - Quad-Typ (Unterliegt Exportbeschränkungen)

Modell			CL-L007G ^*1	CL-L015G ^*1	CL-L030G ^*1	CL-L070G ^*1	CL-L150G ^*1
Bild
Typ			Optische Einheit
Messkopf			CL-L007 ^*1	CL-L015 ^*1	CL-L030 ^*1	CL-L070 ^*1	CL-L150 ^*1
Referenzabstand			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
Referenzmessbereich	Messbereich		± 1,5 mm	± 1,3 mm	± 3,7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	Linearität		± 1,95 µm ^*2	± 0,36 µm ^*2	± 0,81 µm ^*2	± 2,0 µm ^*2	± 5,5 µm ^*2
Präzisionsmessbereich	Messbereich		± 0,5 mm		± 1,0 mm	± 3,0 mm	± 15 mm
	Linearität		± 0,78 µm ^*2	± 0,28 µm ^*2	± 0,59 µm ^*2	± 1,9 µm ^*2	± 4,5 µm ^*2
Auflösung			0,015 µm ^*3	0,003 µm ^*3	0,015 µm ^*3	0,025 µm ^*3	0,1 µm ^*3
Lichtpunktdurchmesser			ø 750 µm	ø 300 µm	ø 500 µm	ø 600 µm	ø 1000 µm
Laserklasse	Optische Einheit		Klasse I
Abtastzyklus			100/200/500/1000 µs (Einstellbar in 4 Stufen)
Umgebungsbeständigkeit	Schutzart	Messkopf	IP67 (IEC60529)
	Umgebungslicht		Zielflächenbeleuchtung 30.000 Lux (Glühlampe)
	Umgebungstemperatur		0 bis 50 °C
	Relative Luftfeuchtigkeit		85% r.F. oder weniger (keine Kondensation)
	Vibrationsbeständigkeit	Messkopf	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 1,5 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
		Optische Einheit	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,3 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
	Stoßfestigkeit		15G 6 ms
Temperaturverhalten	Messkopf		0,005% von F.S. / °C
	Optische Einheit		0,015% von F.S. / °C
Material	Messkopf		Edelstahl	Vorderseite: Edelstahl Unterseite: Aluminium
	Optische Einheit		Polycarbonat
Gewicht	Messkopf		Ca. 140 g	Ca. 180 g	Ca. 200 g	Ca. 280 g	Ca. 380 g
	Optische Einheit		Ca. 1600 g
^1 Messkopf und optische Einheit sind ein aufeinander abgestimmtes Paar. Nicht untereinander austauschbar. ^2 Wert im Messmodus Abstandsmessung mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche) gemessen. ^*3 Wert gemessen mit 16.384 Mittelwerten mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche).

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Optische Einheiten und messköpfe - Punkt-Typ (Unterliegt Exportbeschränkungen)

Modell			CL-P007G ^*1	CL-P015G ^*1	CL-P030G ^*1	CL-P070G ^*1	CL-P150G ^*1
Bild
Typ			Optische Einheit
Messkopf			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
Referenzabstand			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
Referenzmessbereich	Messbereich		± 1,5 mm	± 1,3 mm	± 3,7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	Linearität		± 0,83 µm ^*2	± 0,36 µm ^*2	± 0,81 µm ^*2	± 2,0 µm ^*2	± 5,5 µm ^*2
Präzisionsmessbereich	Messbereich		± 0,5 mm		± 1,0 mm	± 3,0 mm	± 15 mm
	Linearität		± 0,43 µm ^*2	± 0,28 µm ^*2	± 0,59 µm ^*2	± 1,9 µm ^*2	± 4,5 µm ^*2
Auflösung			0,015 µm	0,003 µm	0,015 µm	0,025 µm	0,1 µm
Lichtpunktdurchmesser			ø 50 µm	ø 25 µm	ø 38 µm	ø 50 µm	ø 75 µm
Laserklasse	Optische Einheit		Klasse I
Abtastzyklus			100/200/500/1000 µs (Einstellbar in 4 Stufen)
Umgebungsbeständigkeit	Schutzart	Messkopf	IP67 (IEC60529)
	Umgebungslicht		Zielflächenbeleuchtung 30.000 Lux (Glühlampe)
	Umgebungstemperatur		0 bis 50 °C
	Relative Luftfeuchtigkeit		85% r.F. oder weniger (keine Kondensation)
	Vibrationsbeständigkeit	Messkopf	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 1,5 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
		Optische Einheit	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,3 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
	Stoßfestigkeit		15G 6 ms
Temperaturverhalten	Messkopf		0,005% von F.S. / °C
	Optische Einheit		0,015% von F.S. / °C
Material	Messkopf		Edelstahl	Vorderseite: Edelstahl Unterseite: Aluminium
	Optische Einheit		Polycarbonat
Gewicht	Messkopf		Ca. 140 g	Ca. 180 g	Ca. 200 g	Ca. 280 g	Ca. 380 g
	Optische Einheit		Ca. 1600 g
^1 Messkopf und optische Einheit sind ein aufeinander abgestimmtes Paar. Nicht untereinander austauschbar. ^2 Wert im Messmodus Abstandsmessung mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche) gemessen.

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Optische Einheiten und messköpfe - Quad-Typ

Modell			CL-L007N ^*1	CL-L015N ^*1	CL-L030N ^*1	CL-L070N ^*1	CL-L150N ^*1
Bild
Typ			Optische Einheit
Messkopf			CL-L007 ^*1	CL-L015 ^*1	CL-L030 ^*1	CL-L070 ^*1	CL-L150 ^*1
Referenzabstand			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
Referenzmessbereich	Messbereich		± 1,5 mm	± 1,3 mm	± 3,7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	Linearität		± 2,1 µm ^*2	± 0,49 µm ^*2	± 0,94 µm ^*2	± 2,2 µm ^*2	± 5,65 µm ^*2
Präzisionsmessbereich	Messbereich		± 0,5 mm		± 1,0 mm	± 3,0 mm	± 15 mm
	Linearität		± 0,91 µm ^*2	± 0,41 µm ^*2	± 0,72 µm ^*2	± 2,0 µm ^*2	± 4,65 µm ^*2
Auflösung			0,25 µm ^*3
Lichtpunktdurchmesser			ø 750 µm	ø 300 µm	ø 500 µm	ø 600 µm	ø 1000 µm
Laserklasse	Optische Einheit		Klasse I
Abtastzyklus			100/200/500/1000 µs (Einstellbar in 4 Stufen)
Umgebungsbeständigkeit	Schutzart	Messkopf	IP67 (IEC60529)
	Umgebungslicht		Zielflächenbeleuchtung 30.000 Lux (Glühlampe)
	Umgebungstemperatur		0 bis 50 °C
	Relative Luftfeuchtigkeit		85% r.F. oder weniger (keine Kondensation)
	Vibrationsbeständigkeit	Messkopf	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 1,5 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
		Optische Einheit	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,3 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
	Stoßfestigkeit		15G 6 ms
Temperaturverhalten	Messkopf		0,005% von F.S. / °C
	Optische Einheit		0,015% von F.S. / °C
Material	Messkopf		Edelstahl	Vorderseite: Edelstahl Unterseite: Aluminium
	Optische Einheit		Polycarbonat
Gewicht	Messkopf		Ca. 140 g	Ca. 180 g	Ca. 200 g	Ca. 280 g	Ca. 380 g
	Optische Einheit		Ca. 1600 g
^1 Messkopf und optische Einheit sind ein aufeinander abgestimmtes Paar. Nicht untereinander austauschbar. ^2 Wert im Messmodus Abstandsmessung mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche) gemessen. ^*3 Wert gemessen mit 16.384 Mittelwerten mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche).

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Optische Einheiten und messköpfe - Punkt-Typ

Modell			CL-P007N ^*1	CL-P015N ^*1	CL-P030N ^*1	CL-P070N ^*1	CL-P150N ^*1
Bild
Typ			Optische Einheit
Messkopf			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
Referenzabstand			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
Referenzmessbereich	Messbereich		± 1,5 mm	± 1,3 mm	± 3,7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	Linearität		± 0,96 µm ^*2	± 0,49 µm ^*2	± 0,94 µm ^*2	± 2,2 µm ^*2	± 5,65 µm ^*2
Präzisionsmessbereich	Messbereich		± 0,5 mm		± 1,0 mm	± 3,0 mm	± 15 mm
	Linearität		± 0,55 µm ^*2	± 0,41 µm ^*2	± 0,72 µm ^*2	± 2,0 µm ^*2	± 4,65 µm ^*2
Auflösung			0,25 µm
Lichtpunktdurchmesser			ø 50 µm	ø 25 µm	ø 38 µm	ø 50 µm	ø 75 µm
Laserklasse	Optische Einheit		Klasse I
Abtastzyklus			100/200/500/1000 µs (Einstellbar in 4 Stufen)
Umgebungsbeständigkeit	Schutzart	Messkopf	IP67 (IEC60529)
	Umgebungslicht		Zielflächenbeleuchtung 30.000 Lux (Glühlampe)
	Umgebungstemperatur		0 bis 50 °C
	Relative Luftfeuchtigkeit		85% r.F. oder weniger (keine Kondensation)
	Vibrationsbeständigkeit	Messkopf	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 1,5 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
		Optische Einheit	10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,3 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
	Stoßfestigkeit		15G 6 ms
Temperaturverhalten	Messkopf		0,005% von F.S. / °C
	Optische Einheit		0,015% von F.S. / °C
Material	Messkopf		Edelstahl	Vorderseite: Edelstahl Unterseite: Aluminium
	Optische Einheit		Polycarbonat
Gewicht	Messkopf		Ca. 140 g	Ca. 180 g	Ca. 200 g	Ca. 280 g	Ca. 380 g
	Optische Einheit		Ca. 1600 g
^1 Messkopf und optische Einheit sind ein aufeinander abgestimmtes Paar. Nicht untereinander austauschbar. ^2 Wert im Messmodus Abstandsmessung mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche) gemessen.

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Modell				CL-S015G ^*1	CL-S015EXG ^*1	CL-V020G ^*1	CL-V050G ^*1	CL-PT010G ^*1
Bild
Typ				Optische Einheit
Messkopf				CL-S015 ^*1	CL-S015EX ^*1	CL-V020 ^*1	CL-V050 ^*1	CL-PT010 ^*1
Referenzabstand				15 mm		20 mm	50 mm	10 mm
Referenzmessbereich	Messbereich			± 1,0 mm		± 1,3 mm	± 4 mm	± 0,3 mm
	Linearität			± 0,2 µm ^*2		± 0,3 µm ^*2	± 1,25 µm ^*2	± 0,11 µm ^*2
Präzisionsmessbereich	Messbereich			− 0,2 mm/− 1,0 mm		± 0,5 mm	± 1,6 mm	± 0,15 mm
	Linearität			± 0,1 µm ^*2		± 0,23 µm ^*2	± 1,15 µm ^*2	± 0,09 µm ^*2
Auflösung				0,003 µm ^*3		0,01 µm ^*3	0,03 µm ^*3	0,001 µm ^*3
Lichtpunktdurchmesser				ø 10 µm		ø 20 µm	ø 40 µm	ø 3,5 µm
Laserklasse	Optische Einheit			Klasse I
Abtastzyklus				100/200/500/1000 µs (Einstellbar in 4 Stufen)
Umgebungsbeständigkeit	Schutzart	Messkopf		IP50		IP40 entgaste Bauweise für Vakuumumgebungen ^*5		IP64 (IEC60529)
	Umgebungslicht			Zielflächenbeleuchtung 30.000 Lux (Glühlampe)
	Umgebungstemperatur im Betrieb	Messkopf		− 20 bis 70°C		− 20 bis 200°C		0 bis 50 °C
		Optische Einheit		0 bis 50 °C
	Relative Luftfeuchtigkeit			85% r.F. oder weniger (keine Kondensation)
	Vibrationsbeständigkeit	Messkopf		10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 1,5 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen				10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,45 mm Jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
		Optische Einheit		10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,3 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
	Stoßfestigkeit			15G 6 ms
	Vakuumbeständigkeit			Vakuum-Umgebungen		Ultrahochvakuum-Umgebungen ^*6		Nein
	Explosionsschutz	Explosionsschutz	Messkopf	Nein	IECEx: Ex op ist IIC T6 Ga ATEX: II 1 G Ex op ist IIC T6 Ga NRTL/ACO: Gruppe I, Zone 0, AEx op ist IIC T6 Ga Gruppe I, Zone 1, Gruppen A, B, C, D, T6	Nein
			Optische Einheit		IECEx: [Ex op ist IIC T6 Ga] ATEX: II (1) G [Ex op ist IIC T6 Ga] NRTL/ACO: Gruppe I, Zone 0, [AEx op ist IIC T6 Ga] Gruppe I, Zone 1, Gruppen A, B, C, D, T6
		Gruppe/Zone	Messkopf		IECEx: Zone 0 ATEX: Zone 0 NRTL/ACO: Gruppe I/Zone 0
			Optische Einheit		Keine Installation in Gefahrenzonen (zugehörige Geräte)
		Umgebungstemperatur	Messkopf		− 20℃ ≤ Ta ≤ 70℃
			Optische Einheit		0℃ ≤ Ta ≤ 50℃
		Zertifizierungsnummer			IECEx: IECEx CSAE 23.0033X ATEX: CSANe 23ATEX1133X NRTL/ACO: 23CA80171819X
Temperaturverhalten	Messkopf			0,005% von F.S. / °C ^*4		0,013% von F.S. / °C ^*4	0,015% von F.S. / °C ^*4	0,1% von F.S. / °C ^*4
	Optische Einheit			0,015% von F.S. / °C
Material	Messkopf			Edelstahl SUS303/304		Edelstahl SUS304		Vorderseite: Edelstahl Unterseite: Aluminium
	Optische Einheit			Polycarbonat
Gewicht	Messkopf			Ca. 350 g		Ca. 100 g		Ca. 1100 g
	Optische Einheit			Ca. 1600 g
^1 Messkopf und optische Einheit sind ein aufeinander abgestimmtes Paar. Nicht untereinander austauschbar. ^2 Wert im Messmodus Abstandsmessung mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche) gemessen. ^3 Wert gemessen mit 16.384 Mittelwerten mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche). ^4 Diese Werte gelten bei Verwendung einer Vorrichtung aus SUS303 (oder SUS304) zwischen Messkopf und Messobjekt. ^5 Die Schutzart entspricht IP50, wenn der mitgelieferte Aufkleber angebracht ist. ^6 Der Betrieb wurde in Umgebungen von 10^-6 Pa verifiziert.

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Modell				CL-S015N ^*1	CL-S015EXN ^*1	CL-V020N ^*1	CL-V050N ^*1	CL-PT010N ^*1
Bild
Typ				Optische Einheit
Messkopf				CL-S015 ^*1	CL-S015EX ^*1	CL-V020 ^*1	CL-V050 ^*1	CL-PT010 ^*1
Referenzabstand				15 mm		20 mm	50 mm	10 mm
Referenzmessbereich	Messbereich			± 1,0 mm		± 1,3 mm	± 4 mm	± 0,3 mm
	Linearität			± 0,35 µm ^*2		± 0,45 µm ^*2	± 1,4 µm ^*2	± 0,22 µm ^*2
Präzisionsmessbereich	Messbereich			− 0,2 mm/− 1,0 mm		± 0,5 mm	± 1,6 mm	± 0,15 mm
	Linearität			± 0,25 µm ^*2		± 0,38 µm ^*2	± 1,3 µm ^*2	± 0,2 µm ^*2
Auflösung				0,25 µm ^*3
Lichtpunktdurchmesser				ø 10 µm		ø 20 µm	ø 40 µm	ø 3,5 µm
Laserklasse	Optische Einheit			Klasse I
Abtastzyklus				100/200/500/1000 µs (Einstellbar in 4 Stufen)
Umgebungsbeständigkeit	Schutzart	Messkopf		IP50		IP40 entgaste Bauweise für Vakuumumgebungen ^*5		IP64 (IEC60529)
	Umgebungslicht			Zielflächenbeleuchtung 30.000 Lux (Glühlampe)
	Umgebungstemperatur im Betrieb	Messkopf		− 20 bis 70°C		− 20 bis 200°C		0 bis 50 °C
		Optische Einheit		0 bis 50 °C
	Relative Luftfeuchtigkeit			85% r.F. oder weniger (keine Kondensation)
	Vibrationsbeständigkeit	Messkopf		10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 1,5 mm; Jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen				10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,45 mm Jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
		Optische Einheit		10 bis 57 Hz, Doppelamplitude 0,3 mm; jeweils 2 Stunden für X-, Y- und Z-Achsen
	Stoßfestigkeit			15G 6 ms
	Vakuumbeständigkeit			Vakuum-Umgebungen		Ultrahochvakuum-Umgebungen ^*6		Nein
	Explosionsschutz	Explosionsschutz	Messkopf	Nein	IECEx: Ex op ist IIC T6 Ga ATEX: II 1 G Ex op ist IIC T6 Ga NRTL/ACO: Gruppe I, Zone 0, AEx op ist IIC T6 Ga Gruppe I, Zone 1, Gruppen A, B, C, D, T6	Nein
			Optische Einheit		IECEx: [Ex op ist IIC T6 Ga] ATEX: II (1) G [Ex op ist IIC T6 Ga] NRTL/ACO: Gruppe I, Zone 0, [AEx op ist IIC T6 Ga] Gruppe I, Zone 1, Gruppen A, B, C, D, T6
		Gruppe/Zone	Messkopf		IECEx: Zone 0 ATEX: Zone 0 NRTL/ACO: Gruppe I/Zone 0
			Optische Einheit		Keine Installation in Gefahrenzonen (zugehörige Geräte)
		Umgebungstemperatur	Messkopf		− 20℃ ≤ Ta ≤ 70℃
			Optische Einheit		0℃ ≤ Ta ≤ 50℃
		Zertifizierungsnummer			IECEx: IECEx CSAE 23.0033X ATEX: CSANe 23ATEX1133X NRTL/ACO: 23CA80171819X
Temperaturverhalten	Messkopf			0,005% von F.S. / °C ^*4		0,013% von F.S. / °C ^*4	0,015% von F.S. / °C ^*4	0,1% von F.S. / °C ^*4
	Optische Einheit			0,015% von F.S. / °C
Material	Messkopf			Edelstahl SUS303/304		Edelstahl SUS304		Vorderseite: Edelstahl Unterseite: Aluminium
	Optische Einheit			Polycarbonat
Gewicht	Messkopf			Ca. 350 g		Ca. 100 g		Ca. 1100 g
	Optische Einheit			Ca. 1600 g
^1 Messkopf und optische Einheit sind ein aufeinander abgestimmtes Paar. Nicht untereinander austauschbar. ^2 Wert im Messmodus Abstandsmessung mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche) gemessen. ^3 Wert gemessen mit 16.384 Mittelwerten mit KEYENCE-Referenznormal (spiegelnde Fläche). ^4 Diese Werte gelten bei Verwendung einer Vorrichtung aus SUS303 (oder SUS304) zwischen Messkopf und Messobjekt. ^5 Die Schutzart entspricht IP50, wenn der mitgelieferte Aufkleber angebracht ist. ^6 Der Betrieb wurde in Umgebungen von 10^-6 Pa verifiziert.

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Technische Daten Konfokaler Wegmesssensor Modellreihe CL-3000

Optische Einheiten und messköpfe - Quad-Typ (Unterliegt Exportbeschränkungen)

Optische Einheiten und messköpfe - Punkt-Typ (Unterliegt Exportbeschränkungen)

Optische Einheiten und messköpfe - Quad-Typ

Optische Einheiten und messköpfe - Punkt-Typ