Bewegung und Position
Echtzeit-Feedback zu Position oder Hub ist für die Prozesssteuerung ebenso wichtig wie für die Prozessverbesserung. Die Geschwindigkeit, Entfernung und Zugänglichkeit des Messobjekts beeinflussen, welcher Sensortyp am besten Ihren Bedürfnissen entspricht. Sehen Sie sich nachfolgend die gängigsten Messmethoden für die Positionsmessung an oder fordern Sie eine Beratung mit einem Experten vor Ort an.
Konfokale Sensoren besitzen nicht die für Triangulationssensoren charakteristischen Totzonen und können daher zuverlässiger in kleinere und tiefere Bohrungen hinein messen.
Die Sensorköpfe der Modellreihe CL sind mit Ultrahochvakuum-Umgebungen kompatibel und können zur Messung der Tischposition in solchen Umgebungen verwendet werden. Mit dem Winkelaufsatz, der eine Messung in vier Richtungen ermöglicht, lassen sich die Sensorköpfe sehr flexibel installieren.
Berührende Wegmesssensoren bieten Ihnen die Möglichkeit, Fehler die beim Pressvorgang entstehen zu erkennen.
Die genaue Einstellung des Abstands zwischen der Düse und dem Wafer ist entscheidend für eine stabile Dosiergenauigkeit. Die Sensoren der Modellreihe CL lassen sich aufgrund ihrer geringen Abmessungen leicht in Anlagen integrieren, in denen eine präzise Abstandsmessung erforderlich ist, wie z.B. bei Silizium-Wafern und anderen Messobjekte mit reflektierenden Oberflächen.
Die Messobjektposition wird verwendet, um sicherzustellen, dass der nächste Schritt in der Prozesskette genau ausgeführt wird. Laser-Profilsensoren ermöglichen stabile Positionsrückmeldungen überall im Messbereich, unabhängig von Material, Farbe oder Größe des Messobjekts.
Das Roboter-Teaching wird verwendet, um sicherzustellen, dass die Werkzeuge in der vorgegebenen Position eingestellt werden. Der 2D-Inline-Profilprojektor ermöglicht präzise Messungen der Position von Werkzeugen und anderen axialen Messobjekten.
Umlenkspiegel können zur Messung verwendet werden, wenn der Bauraum begrenzt ist. Dieser Aufbau ermöglicht die Lageerkennung von Inkreis- oder Schnittpunktkoordinaten sowie die gleichzeitige Form- und Maßprüfung der Waferkante.
Die Tischhöhe in einer Vakuumumgebung wird durch die Sichtöffnung gemessen. Die Modellreihe CL umfasst Sensorköpfe, die sich für Messungen über große Entfernungen eignen. Die neu entwickelte Lochblendenoptik gewährleistet eine hohe Genauigkeit bei Messungen über eine große Entfernung.
Die Armposition wird in einer Vakuumumgebung gemessen. Die Sensorköpfe der Modellreihe CL sind mit Ultrahochvakuum-Umgebungen kompatibel, so dass sie Gerätebewegungen erfassen können, die unter Atmosphäre nicht erkennbar sind. Darüber hinaus können die sehr kompakten Sensorköpfe auch bei begrenzten Platzverhältnissen in der Anlage installiert werden.
