Messung 32D-Laser-Wegmesssensor
Eine Laserlinie wird von der Oberfläche des Messobjekts reflektiert; die Messung der Wölbung erfolgt durch Beurteilung der Höhendifferenzen am reflektierten Profil.
KERNPUNKTE
Die Wölbung kann ohne Verfahren des Messkopfs gemessen werden.
Modellreihe LJ-V
- 2D-Triangulationsverfahren.
- Inline-Mehrpunktmessung.
- Sehr schnelle Abtastfrequenz von 64.000 Bildern pro Sekunde.
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Modellreihe LT
- Konfokalverfahren
- 2-µm-Lichtpunktdurchmesser
- Überragend bei der Vermessung dünner Schichten
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