Messung 32D-Laser-Wegmesssensor

Ein Laserstrahl, der zu einer Linie aufgeweitet wurde, wird von der Oberfläche des Messobjekts diffus reflektiert. Dieses reflektierte Profil gelangt auf den HSE3-CMOS. Durch Erkennen von Änderungen in Bezug auf Position und Form der Reflektion kann die Rundlaufabweichung des Messobjekts gemessen werden.

KERNPUNKTE

  • Wenn sich der Spitzenwert nach links oder rechts verschiebt, kann bei Verwendung eines 1D-Laser-Wegmesssensors der Maximalwert nicht immer ermittelt werden. Mit einem 2D-Laser-Wegmesssensor dagegen ist der Spitzenwert jederzeit erfassbar.
  • Die Messung muss mit einer Abtastfrequenz von mindestens dem Zehnfachen der Schwingungsfrequenz erfolgen.
Modellreihe LJ-V
  • 2D-Triangulationsverfahren.
  • Inline-Mehrpunktmessung.
  • Sehr schnelle Abtastfrequenz von 64.000 Bildern pro Sekunde.

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Modellreihe LJ-V
Modellreihe LT
  • Konfokalverfahren
  • 2-µm-Lichtpunktdurchmesser
  • Überragend bei der Vermessung dünner Schichten

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Modellreihe LT

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