Messung 22D-Laser-Wegmesssensor

An den Stellen, an denen die Laserlinie auftrifft, wird ein Profil erstellt, sodass relative Messungen, wie etwa der Stufe, durchgeführt werden können.

KERNPUNKTE

Da der Messkopf über eine Neigungskorrektur verfügt, kann der Absatz auch dann noch präzise erfasst werden, wenn das Messobjekt verkippt ist.

Modellreihe LJ-V
  • 2D-Triangulationsverfahren.
  • Inline-Mehrpunktmessung.
  • Sehr schnelle Abtastfrequenz von 64.000 Bildern pro Sekunde.

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Modellreihe LJ-V
Modellreihe LT
  • Konfokalverfahren
  • 2 µm Lichtpunktdurchmesser
  • Überragend bei der Vermessung dünner Schichten

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Modellreihe LT

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