Messung 32D-Laser-Wegmesssensoren
Mithilfe der Laserlinie, die zum Sensor zurück reflektiert wird, wird ein Profil des Messobjekts erstellt. Anhand dieses Profils können Merkmale wie Stufenhöhen und Spalte gemessen werden.
KERNPUNKTE
- Mit der Positionskorrekturfunktion können sogar Spalte an geneigten Messobjekten präzise gemessen werden.
- Spalt- und Stufenmessungen können gleichzeitig durchgeführt werden.
Modellreihe LJ-V
- 2D-Triangulationsverfahren.
- Inline-Mehrpunktmessung.
- Sehr schnelle Abtastfrequenz von 64.000 Bildern pro Sekunde.
Klicken Sie hier, um nähere Informationen zu erhalten.
Modellreihe LT
- Konfokalverfahren
- 2 µm Lichtpunktdurchmesser
- Überragend bei der Vermessung dünner Schichten
Klicken Sie hier, um nähere Informationen zu erhalten.
